آنالیز طیف سنجی پراش انرژی اشعه ایکس (EDS یا EDX) روشی است که برای تجزیه و تشخیص عنصرهای شیمیایی یک نمونه به کار می‌رود. این تکنیک بر مطالعه بر هم کنش بین پرتو ایکس و نمونه مورد آنالیز متکی است. این تکنیک به صورت کلی بر اساس این اصل استوار شده است که هر عنصر دارای یک ساختار اتمی منحصر به‌ فرد است که مجموعهٔ منحصر به‌ فردی از قله‌ها (peaks) را در طیف پرتو ایکس آن ممکن می‌سازد. اتم های موجود در نمونه، شامل الکترون‌های برانگیخته نشده بوده که در ترازهای گسستهٔ انرژی یا لایه‌های الکترون متصل به هسته است. اشعه ایکس تابیده شده ممکن است یک الکترون در تراز داخلی را تحریک کند و آن را از پوسته به بیرون پرتاب کند و منجر به تشکیل یک حفره الکترونی در ساختار اتمی شود. پس از آن یک الکترون با انرژی بالاتر از یک لایهٔ بیرونی، جایگزین حفره تشکیل شده می شود و اختلاف انرژی بین دو لایه می‌تواند به صورت اشعه ایکس آزاد شود. تعداد و انرژی اشعه های X ساطع شده از نمونه را می شود با استفاده از یک طیف سنج پراش انرژی اندازه‌گیری کرد. آز آنجایی که انرژی اشعه های ایکس نشان دهنده اختلاف انرژی بین دو لایه و در نتیجه ساختار اتمی عنصر مورد نظر می باشد، امکان مشخص شدن نوع عناصر نمونه را می‌دهد.

نکات مهم

عناصر تشکیل دهنده نمونه لازم است حتما در فرم ثبت درخواست آورده شود.
حالت پایه آنالیز مربوط به انجام آنالیز نقطه ای است. با انتخاب هر کدام از گزینه های بخش خدمات می توانید آنالیزهای mapping‌ یا line scan را انتخاب نمایید.
نمونه های پودری باید دارای حداقل وزن ۱۰ میلی گرم باشند. اندازه نمونه های بالک باید کوچکتر از ۲ سانتی متر در ۲ سانتی متر باشد.
نمونه ها می بایستی کاملاً خشک باشند. نمونه های حاوی رطوبت و چربی پذیرش نمی گردد. برای چنین نمونه هایی می توانید از میکروسکوپ الکترونی روبشی محیطی (ESEM) استفاده نمایید.