لایه نشانی تبخیر فیزیکی با کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم

دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با کندوپاش مغناطیسی برای پوشش دهی فلزات خالص به صورت نانوساختار به کار می رود. با استفاده از این فرایند، امکان لایه نشانی اکسیدهای فلزی (با منبع RF) و فلزات خالص (با منبع DC) وجود دارد. همچنین دستگاه دارای ضخامت سنج کریستالی می­باشد.

ویژگی نمونه

• نمونه تخت و مسطح و کاملا آیینه ای باشد.
• محدودیتی در جنس نمونه وجود ندارد، می توان ورق فولادی، شیشه لام یا ویفر سیلیکون باشد.
• اندازه نمونه بایستی طوری باشد که بتوان با نمونه دان آنها را ثبت نمود.

کاربردها

• پوشش دهی فلزات خالص به صورت نانوساختار
• لایه نشانی فلزات و اکسیدهای فلزی در کارهای پژوهشی
•  کاربردهای اپتیکی و الکترونیکی

مقیاس دستگاه

• آزمایشگاهی (کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانت)

محدودیت دستگاه

• قطعات غیرمسطح امکان لایه نشانی ندارد.
• به جز تارگت فلزات کروم، تیتانیوم و مس، تهیه تارگت (قطر دو اینچ) بر عهده متقاضی می­باشد.
• برای کاربردهای سخت و مقاوم کارایی لازم را ندارد.

نمونه های انجام شده

• پوشش دهی کروم
• پوشش دهی تیتانیوم