کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم/فرکانس رادیویی و تبخیر حرارتی

کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم/فرکانس رادیویی و تبخیر حرارتی

با استفاده از این فرایند، فلزات با نقطه ذوب زیر ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد (مانند مس، طلا و نقره) را می توان تبخیر کرد. امکان تغییر جریان ورودی به منبع تبخیر تا ۲۰۰ آمپر وجود دارد. همچنین دستگاه دارای ضخامت سنج کریستالی می­ باشد.

ویژگی نمونه

• نمونه بایستی تخت و مسطح باشد و کاملا آیینه ای باشد.
• محدودیتی در جنس نمونه وجود ندارد، می توان ورق فولادی، شیشه لام یا ویفر سیلیکون باشد.
• اندازه نمونه بایستی طوری باشد که بتوان با نمونه دان آنها را ثبت نمود.

کاربرد دستگاه

• پوشش دهی فلزات/پوشش دهی نیترید فلزات
• لایه نشانی فلزات با نقطه ذوب کمتر از ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد
• کاربردهای اپتیکی و الکترونیکی

مقیاس دستگاه

• آزمایشگاهی (نمونه های تخت و کوچک ۱۰ در ۱۰ سانتی متر)

محدودیت ها

• قطعات غیرمسطح امکان لایه نشانی ندارد.
• همچنین نمونه بایستر کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانتیمتر باشد.
• برای کاربردهای سخت و مقاوم کارایی لازم را ندارد.

نمونه های انجام شده

• پوشش دهی طلا
• پوشش دهی نقره
• پوشش دهی مس