دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتوالکترونی

با استفاده از این فرایند، امکان تبخیر فلزات دیرگداز و سرامیک­ ها در مقیاس آزمایشگاهی وجود دارد. توان اسمی دستگاه ۱۵ کیلو وات است و همچنین دستگاه دارای ضخامت سنج کریستالی می­ باشد.

ویژگی نمونه

  • نمونه بایستی تخت و مسطح باشد و کاملا آیینه ای باشد.
  • محدودیتی در جنس نمونه وجود ندارد، می توان ورق فولادی، شیشه لام یا ویفر سیلیکون باشد.
  • اندازه نمونه بایستی طوری باشد که بتوان با نمونه دان آنها را ثبت نمود.

کاربردهای دستگاه

  • پوشش دهی فلزات دیرگداز/ پوشش دهی مواد سرامیکی
  • کاربردهای اپتیکی و الکترونیکی

مقیاس دستگاه

  • آزمایشگاهی (نمونه های تخت و کوچک کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانتی متر)

محدودیت ها

  • قطعات غیرمسطح امکان لایه نشانی ندارد.
  • ابعاد نمونه باید کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانتیمتر باشد.
  • برای کاربردهای سخت و مقاوم کارایی لازم را ندارد.

نمونه های انجام شده

  • پوشش دهی اکسید آلومینیوم و کوارتز
  • پوشش دهی استیل
  • پوشش دهی تیتانیوم

نکات مهم

قیمت به ازای هر run دستگاه محاسبه شده است. دستگاه در مقیاس آزمایشگاهی است. هزینه ارائه خدمات با تارگت جداگانه محاسبه می شود.