دستگاه کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم/فرکانس رادیویی و تبخیرحرارتی

با استفاده از این فرایند، فلزات با نقطه ذوب زیر ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد (مانند مس، طلا و نقره) را می توان تبخیر کرد. امکان تغییر جریان ورودی به منبع تبخیر تا ۲۰۰ آمپر وجود دارد. همچنین دستگاه دارای ضخامت سنج کریستالی می­ باشد.

ویژگی نمونه

  • نمونه بایستی تخت و مسطح باشد و کاملا آیینه ای باشد.
  • محدودیتی در جنس نمونه وجود ندارد، می توان ورق فولادی، شیشه لام یا ویفر سیلیکون باشد.
  • اندازه نمونه بایستی طوری باشد که بتوان با نمونه دان آنها را ثبت نمود.

کاربرد دستگاه

  • پوشش دهی فلزات/پوشش دهی نیترید فلزات
  • لایه نشانی فلزات با نقطه ذوب کمتر از ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد
  • کاربردهای اپتیکی و الکترونیکی

مقیاس دستگاه

  • آزمایشگاهی (نمونه های تخت و کوچک ۱۰ در ۱۰ سانتی متر)

محدودیت ها

  • قطعات غیرمسطح امکان لایه نشانی ندارد.
  • همچنین نمونه بایستر کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانتیمتر باشد.
  • برای کاربردهای سخت و مقاوم کارایی لازم را ندارد.

نمونه های انجام شده

  • پوشش دهی طلا
  • پوشش دهی نقره
  • پوشش دهی مس

 

نکات مهم

قیمت به ازای run دستگاه محاسبه شده است. دستگاه در مقیاس آزمایشگاهی است. هزینه ارائه خدمات با تارگت جداگانه محاسبه می شود.