میکروسکوپ الکترونی روبشی (SCANNING ELECTRON MICROSCOPE) آنالیز SEM

این میکروسکوپ الکترونی مجهز به تفنگ الکترونی گسیل حرارتی (Thermal emission) است. در این نوع تفنگ الکترونی از یک سیم داغ تنگستنی به عنوان منبع تولید الکترون استفاده می‌شود. زمانی که فلزات تا دمای بالایی داغ می‌شوند از خود الکترون ساطع می‌کنند. در تفنگ الکترونی مورد استفاده در این میکروسکوپ الکترونیی، الکترون‌های خارج شده از فیلامان (سیم نازک) تنگستنی با استفاده از میدان الکترونی جمع آوری می‌شود و با میدان الکتریکی دیگری به آن شتاب داده می‌شود تا سرعت الکترون‌ها افزایش یابد و طول موج وابسته به آن کاهش یابد. در میکروسکوپ‌های الکترونی که از تفنگ الکترونی گسیل حرارتی استفاده می‌کنند، منبع تولید الکترون منبع گسترده‌تری (سطحی که الکترون از آن خارج می‌شود) نسبت به میکروسکوپ‌های الکترونی است که از مکانیزم گسیل میدانی استفاده می‌کنند دارند. از این رو قدرت تفکیک و بزرگ‌نمایی SEMهایی که از تفنگ گسیل حرارتی استفاده می‌کنند کمتر از SEM‌هایی گسیل میدانی است. ولی قدرت بزرگ‌نمایی و تفکیک یک میکروسکوپ به عوامل مختلفی مانند مهارت اپراتور، کیفیت لنز‌ها، نوع نمونه و نرم افزار دستگاه وابسته است. این میکروسکوپ هرچند از تفنگ گسیل حرارتی استفاده می‌کند ولی بخاطر کیفیت ساخت خوب و مهارت اپراتور، توانایی تصویر برداری خوبی دارد. این میکروسکوپ مجهز به میز کار (صفحه‌ای که نمونه‌های روی آن قرار می‌گیرند) با ۵ درجه آزادی (در سه راستا قابلیت حرکت و در دو راستا قابلیت چرخش دارد) است. این امر برای بررسی نمونه‌های سطح شکست، بررسی زبری و مورفولوژی سطح بسیار مهم و موثر است. توانایی دستگاه برای حرکت دادن و چرخاندن نمونه و مهارت اپراتور برای تهیه کردن و آنالیز کردن نمونه‌های سطح شکست باعث شده تا این میکروسکوپ گزینه مناسبی برای افرادی باشد که قصد بررسی سطح شکست یا سطح مقطع (Cross Section) و یا پوشش‌ها را دارند باشد. وجود آنالیز عنصری EDX روی این میکروسکوپ باعث

مشخصات فنی آنالیز SEM

  • مدل دستگاه: SEM FEI Quanta 200
  • محدوده ی بزرگنمایی: ۱۰ تا ۱۰۰۰۰۰ برابر
  • مجهز به  EDX, WDX.
  • محدوده ی وسیعی از محفظه ها و ‍‍‍پایه های نمونه
  • تفنگ الکترون: کاتد گرم شده ی تنگستن
  • تصویربرداری/نقشه برداری: بله
  • حالتهای تغییر وضعیت نمونه: ۵ حالت شامل: جهت (X (50mm، جهت(Y (70mm، جهت (Z(40mm، کج شدن نمونه (Tilt) (˚۵-˚۹۰) و چرخش (˚۳۶۰)
  • عمق نفوذ الکترونها بسته به ولتاژ انتخابی متغیر است و برای حالتهای مختلف عبارت است از : الکترونهای ثانویه (۱-۱۰nm)، الکترونهای برگشتی ((۰٫۱-۱µm و اشعه X (1-10 µm)
  • مجهز به دوربین عکاسی دیجیتال
  • طیف سنج اشعه X
  • مجهز به میکروسکوپ نوری با قدرت تفکیک  ۱µm، بزرگنمایی حداکثر ۳۰۰ برابر و محدوده ی دیدی به قطر ۰٫۶۵mm

توانایی ها آنالیز SEM

  • رزولوشن: ۳nm at 30 kV
  • بررسی ساختارهای میکروسکوپی در بزرگنمایی بالا به روشهای B.S و SE
  • تعیین جنس و ضخامت انواع پوششها
  • تهبه آنالیز تصویری از سطح نمونه(X-Ray Image)
  • تهیه آنالیز خطی(Line Scan) (عدم استفاده)
  • تنها عنصر سنگین تر از آلومینیوم قابل شناسایی می باشند عناصر غیر قابل شناسایی عبارتند از: H-He-Li-Be-B-C-N-O-F-Ne-Na-Mg-Al

نکات مهم

رعایت نکات زیر در ارسال نمونه ضروری است:
۱- نمونه های پودری باید دارای حداقل وزن ۱۰ میلی گرم باشند.
۲- نمونه ها می بایستی کاملاً خشک باشند. نمونه های حاوی رطوبت و چربی پذیرش نمی گردد. برای چنین نمونه هایی می توانید از میکروسکوپ الکترونی روبشی محیطی (ESEM) استفاده نمایید.
۳- آماده سازی نمونه ها شامل پوشش دهی طلا می باشد. هرگونه آماده سازی دیگر بر عهده متقاضی است.
۴- جهت تصویربرداری از نمونه های نانوساختار بهتر است خدمات میکروسکوپ FESEM را انتخاب نمایید.
۵-انجام آنالیز EDS، مشخص نمودن عناصر تشکیل دهنده نمونه ضروری است.
۶- تعداد عکس های میکروسکوپی ۴ تا ۷ عکس می باشد.